中圖儀器3d光學(xué)輪廓儀設(shè)備可測(cè)從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等，以及各類(lèi)從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，提供依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT四大國(guó)內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)共計(jì)300余種2D、3D參數(shù)作為評(píng)價(jià)標(biāo)準(zhǔn)。是一款以白光干涉技術(shù)為原理，用于對(duì)各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級(jí)測(cè)量的檢測(cè)儀器。

工作過(guò)程

精密Z向掃描模塊與3D 建模算法等對(duì)器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過(guò)系統(tǒng)軟件對(duì)器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析，進(jìn)而獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)，從而實(shí)現(xiàn)器件表面形貌3D測(cè)量。

技術(shù)參數(shù)

行業(yè)技術(shù)的快速更新?lián)Q代，對(duì)檢測(cè)儀器企業(yè)提出了更高的要求，我們只有主動(dòng)出擊，迎接挑戰(zhàn)，不斷推出符合市場(chǎng)需求的儀器設(shè)備才能立于不敗之地！中圖儀器3d光學(xué)輪廓儀設(shè)備可以達(dá)到納米級(jí)的檢測(cè)精度，并快速獲得被測(cè)工件表面三維形貌和數(shù)據(jù)?？蓮V泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測(cè)、汽車(chē)零部件、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、高校科研院所等領(lǐng)域中。

中圖儀器，堅(jiān)持以技術(shù)創(chuàng)新為發(fā)展基礎(chǔ)，致力于精密測(cè)量、計(jì)量檢測(cè)等儀器設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷(xiāo)售，為用戶(hù)提供從納米到百米的精密測(cè)量解決方案！